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什么是四探針?lè)阶铚y(cè)試儀?該儀器主要由哪幾部分組成?
發(fā)布時(shí)間:2017-10-18 閱讀:1908
    四探針?lè)阶铚y(cè)試儀適用於半導(dǎo)體材料廠,半導(dǎo)體器件廠,科研單位,高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料電阻性能的測(cè)試。
 
    配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)。

    四探針?lè)阶铚y(cè)試儀主要由主機(jī),測(cè)試架等部分組成,測(cè)試結(jié)果由液晶顯示器顯示,同時(shí),液晶顯示器還顯示測(cè)量類型(電阻率,方塊電阻和電阻)以及探頭修正系數(shù),主機(jī)由開(kāi)關(guān)電源,DC/DC變換器,高靈敏度電壓測(cè)量部份,高穩(wěn)定度恒流源,和微電腦控制系統(tǒng)組成。由於采用大規(guī)模集成電路,所以儀器可靠性高,測(cè)量穩(wěn)定性好。 
測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高硬度鋼針,定位準(zhǔn)確,游移率小,使用壽命長(zhǎng)。
 
    儀器是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高度,四探針?lè)阶铚y(cè)試儀特別適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

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