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按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)，本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口，本機(jī)采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差，比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量，更加準(zhǔn)確.

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

二、產(chǎn)品簡介

技術(shù)參數(shù)及功能介紹

三、主要控制功能概述

1.整機(jī)構(gòu)造圖

1.1主機(jī)正面

設(shè)置鍵 系統(tǒng)鍵

USB接口 液晶顯示器 顯示鍵 數(shù)字鍵 觸發(fā)鍵

確定

退格

電源開關(guān) 接地 測試接線端口

功能選擇鍵 方向鍵 確定鍵

圖1

1.2.主機(jī)背面

通訊接口 溫度接口

電源接口

圖2

2.顯示界面圖

2.1.開機(jī)頁面

圖3

2.2.測試界面

圖2

圖4

圖2

圖5

3、儀器與治具連接示意圖

3.1.以下系列型號：FT-331 ； FT-332 ； FT-333 ； FT-335物圖如下：

特別提示：本圖片包含本機(jī)所有配置，如購買中未選購其中部分，則圖片有所差異.

圖6

3.2.以下系列型號：FT-334 ；FT-336物圖如下：

特別提示：本圖片包含本機(jī)所有配置，如購買中未選購其中部分，則圖片有所差異.

圖7

四、工作原理和計算公式

1.四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下：

直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：

當(dāng)電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時計算如下：

四探針測試結(jié)構(gòu)圖8

當(dāng)電流通過1、2探針，4、3探針測試電壓時計算如下：

從以上計算公式可以看出：方阻RS只取決于R1和R2，與探針間距無關(guān)．針距相等與否對RS的結(jié)果無任何影響，本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距，偏差微小，對測試結(jié)果更加。

2.儀器工作原理圖

圖9

五、操作流程和測試步驟

1.使用前期準(zhǔn)備--測試前準(zhǔn)備工作：

1.1.開機(jī)預(yù)熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘，保證測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。若測試儀無法正常啟動，請按以下步驟檢查：

①檢查電源線是否接觸良好；

②檢查后面板上的電源開關(guān)是否已經(jīng)打開

③檢查保險絲是否熔斷，如有必要，請更換保險絲

④
如經(jīng)上述檢查無誤后，測試儀仍未正常啟動，請聯(lián)系本公司進(jìn)行解決。

1.2.準(zhǔn)備好被測物，鏈接好測試探頭，把測試探頭接口與主機(jī)接口相連接，并鎖定，防止松動或接觸不良而對測試結(jié)果造成影響.

1.3.接通電源，開啟電源開關(guān)，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產(chǎn)品信息后，如圖3，按“顯示”鍵進(jìn)入，

1.4.進(jìn)入測試功能界面如圖4、圖5；如測試方阻時，請選擇液晶顯示屏又側(cè)對應(yīng) 的功能按鍵“方阻”，則進(jìn)入方阻測試界面；如測試其他材料時，請選擇“材料”則進(jìn)入材料電阻，電阻率，電導(dǎo)率測試儀界面。

1.5.設(shè)置好被測物所需之參數(shù)，把被測物放于測試治具平臺上操作，測試完畢直接顯示測試數(shù)據(jù)。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請注意查看操作步驟.

以下分別講解方阻和材料測試的設(shè)置

2.四探針方阻測試步驟

2.1.上述步驟中1項，使用前期準(zhǔn)備

2.2 把被測物測試所需要之參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)定：

2.2.1依據(jù)不同之測試樣品，選擇被測試電流，電流設(shè)置：按方向鍵移動光標(biāo)至“電流”功能，按“設(shè)置”鍵進(jìn)入；再按“左右”方向鍵選擇電流數(shù)據(jù)，選擇完畢后按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)。按照以上步驟和方法選擇電壓、長度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.

2.2.2.探針間距數(shù)據(jù)的輸入，探針間距出廠時已經(jīng)標(biāo)定，無需再次測量，探針頭上有詳細(xì)的探針數(shù)據(jù)資料，探針間距的設(shè)置：將光標(biāo)移動至“探針間距”按“設(shè)置”鍵進(jìn)入，通過面板上面的“數(shù)字”按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)；按照以上方法和步驟設(shè)定”厚度“，注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中，自動修正，無需再次輸入和查詢表格。

2.3.測試探頭和測試平臺操作

選配測試平臺的將被測物放在測試平臺上，調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu)；調(diào)節(jié)測試平臺上的水平定位角，保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置；放置好被測物品，后壓下探頭至被測物，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀取.

方阻測試時，在測試時電流的選擇也不同

方塊電阻測試時電流量程選擇表

根據(jù)國標(biāo)GB/T1552-1995和根據(jù)ASTM F374-84標(biāo)準(zhǔn)方法測量方塊電阻所需要的電流值如下表所示

方阻測試時根據(jù)用戶所選擇的電壓測量低壓6V，中壓15V，高壓32V；材料測試的時候一直是6V

3.材料電阻測試步驟：

操作步驟及流程

3.1.本機(jī)可以依據(jù)不同測試產(chǎn)品選擇配置不同的測試治具，以下舉例操作說明

3.1.1.在開機(jī)界面按下按鍵板上的“顯示”鍵，進(jìn)入測量界面。如圖1

3.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側(cè)有4個藍(lán)色功能按鍵，當(dāng)測材料電阻率時，請選擇 “材料”按鍵 ，進(jìn)入材料測試主界面.

3.1.3.在該界面下通過按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動藍(lán)色光標(biāo)選擇相應(yīng)的參數(shù)。如圖2，將移動到某一參數(shù)的位置，按下“設(shè)置”鍵，光標(biāo)將變?yōu)樯钏{(lán)色。此時通過上下左右鍵和數(shù)字鍵可以對相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置完畢后按“確定”鍵返回。

3.1.4.如圖3接線方式，把主機(jī)與夾具連接線，連接好并固定住，

3.1.5.取試樣，試樣試驗前的處理依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，

3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內(nèi)，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個接口與探頭接線位置連接，后，放入被測樣品，輸入高度數(shù)據(jù)（為探針之間的間距），其他數(shù)據(jù)為樣品本身尺寸。

3.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測樣品表面，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀數(shù).

3.1.8. 按下“放大”鍵對應(yīng)的按鍵可以對當(dāng)前界面的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行放大

3.1.9. 待參數(shù)設(shè)置完畢，開始測量，把測試獲得的數(shù)據(jù)寫入試驗報告中

3.1.10.以下設(shè)置和功能屬于配置操作軟件機(jī)型使用，如您購買的無電腦操作軟件的話，請勿設(shè)置.

3.1.11.接口：可選擇“USB”和“232”兩種模式。根據(jù)用戶使用的接口類型進(jìn)行選擇。

測試功能：可選擇：“RρK”（顯示電阻，電阻率，電導(dǎo)率），“R”（只顯示電阻），“ρ”（只顯示電阻率，“K”（只顯示電導(dǎo)率）3種顯示模式。